超小型粒子計數器

加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器

重視可視性，大畫面，觸摸屏顯示器，可在附帶軟件上顯示測試數據

雙通道： 0.1um0.3um

額定流量：2.83min

通過實現超小型化設計，使粒子計數器嵌入裝置設備成為可

0.1 um測量

4.3英寸彩色液晶

標配RS-485,Ethernet,USB

小型化！重量大幅度輕量化

以往的尺寸很難嵌入組裝在半導體制造等裝置中，

本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變為簡便易行。

應用范圍

作為傳感器嵌入到設備裝置中

潔凈室的清潔度管理

高清潔度區域的管理

加野Kanomax 3950 超小型粒子計數器

測試方法光散亂

粒徑區分2粒徑（0.1,0.3um)

額定流量0.1CFM(2.83L/分）精度士（符合JIS B9921 和 1$021501-4)

測量時間6秒～99分59秒（1次測量時間）

間隔時間6秒～99分59秒（測量周期）

采樣次數1~999回或 連續測試

地點區分99個地點

測量格式重復，單次，連續，計算，1S0,GB*(共6種模式）

測量數據顯示時間1~10秒

測量數據顯示計數累計值三，超過設定設定值時蜂鳥器報警

zui大可測濃度10,000,000個m

計數效率50土20%(相對于zui小可測粒徑附近的標準粒子）

100士108(相對于zui小可測粒徑的1.5倍－2倍的PSL粒子）

（符合JIS B9921和1S021501-4)

偽計數1/35min 以下

粒徑分解能15%以下（相對0.3um的PSL粒子）

（符合JIS B9921和 IS021501-4)

采樣源自帶泵

顯示器4.3英寸彩色液品，觸摸屏顯示器

記錄媒體本體：USB(Host可對于打印機，USB內存使用，、Device可對于鏈接PC使用）Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)

媒體：內存

記錄數、格式：zui大10,000個，CSV格式

顯示語言英語，日語

電源AC 100~240 V

使用環境15~35'C,0~85%RH(無冷凝）

外形尺寸W150 X H163 X D228 mm

重量3.4kg